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잉여반도체물량:대한민국 반도체회사들

GODblessus 2023. 8. 13. 06:55

 

中, 4.5세대 노광기 국산화 의미[고영화의 차이나워치]

고영화 한국창업원(베이징) 원장
  • 등록 2023-08-07 오전 6:20:00
  • 수정 2023-08-07 오전 6:20:00
 
 


[고영화 한국창업원(베이징) 원장] 지난 1일 중국 증권일보에 상해마이크로전자(SMEE)가 28㎚(나노미터) 반도체 노광기 국산화 개발에 거의 성공했고, 연말에는 첫 제품을 고객에게 인도하게 될 것이라는 보도가 나왔다. 이는 미·중 반도체 기술경쟁에서 미국의 기술을 따라잡는 큰 허들을 하나 넘은 것으로 의미가 대단히 크다.

널리 알려진 것처럼, 노광기는 반도체 제조의 3가지 핵심공정인 노광, 식각, 증착의 한 부분을 책임지는 핵심 장비로서, 광원의 파장 길이에 따라 해상도가 결정되기 때문에 광원에 따라 1세대, 2세대, 3세대, 4세대, 5세대로 발전해 왔다.

그 중 4세대 노광기는 DUV(심자외선) 193㎚ 파장의 불화아르곤(ArF) 에시머 플라즈마 광원을 사용하기 때문에 65㎚ 공정까지만 활용이 가능하다. 그런데 28㎚노광기는 DUV 노광기를 기반으로, 해상도를 더 높이기 위해 공기보다 굴절률이 1.44배 큰 초순수(순수한 물)를 노광기의 대물렌즈와 웨이퍼 사이에 주입하여 만들어진 얇은 수막을 통해 빛을 한 번 더 굴절시키는 액침 기술을 활용한다. 그래서 ArF 광원의 이름에 액침의 ‘i’를 더해 ‘ArFi’ 기술이라고 부르고, 4.5세대라 한다. 여기에 마운트와 제어기술을 고도화 하면 14㎚까지 해상도를 끌어 올릴 수 있다.

 
역사적으로 보면, 중국은 1975년에 이미 반도체전용연구소를 설립했고, 1980년도에 수립된 ‘863 국가 고기술연구 발전계획’에 따라 국책과제를 통해 1.5, 0.8, 0.5㎛(마이크로미터) 노광기를 연구하고, 2001년 100nm 노광기 개발에 성공했다. 이후 이 기술을 이어받은 SMEE가 중국 유일의 노광기 개발기업이 되었고, 2009년 중국 최초 2㎛ 노광기를 상용화한 이후, 2013년에는 LED 노광기를 개발했고, 2018년에는 반도체 제조용 90nm DUV 노광기를 출시한 바 있다.

이번에 중국의 28㎚ 국산 노광기 개발은 정부의 ‘국가 중장기 과학 및 기술 발전 규획’ 중 하나의 국책과제로서, 2016년부터 SMEE를 개발책임자로 하고 모델명을 SSA800/10W로 정하고, 마운트, 광원, 광학시스템, 대물렌즈 모듈, 액침 시스템, 제어 소프트웨어 등 7개 기업이 분업 담당하여, 네덜란드 ASML의 NXT:2000i 모델의 성능을 목표로 치밀한 계획하에 진행된 8년의 성과다.

물론 ASML가 28㎚ 액침노광기를 처음 개발한 것이 2010년 이기 때문에, 이에 비하면 13년이나 늦은 것이다. 하지만 2019년 기준으로, 세계에서 ArFi 노광기는 ASML과 일본 니콘 등 오직 두 회사가 88%, 12%를 독점하고 있는 기술인데, 중국이 4.5세대 기술을 국산화한 3번째 나라가 되면서, 그 의미는 대단히 크다.

첫째, 미국이 중국의 반도체 제재를 가할 때의 핵심이 바로 4.5세대 ArFi 및 5세대 극자외선(EUV) 노광장비 수출규제이고, 일본이 지난달 23일부터 대중국 반도체장비 수출제한을 실행할 때 핵심에 니콘의 4.5세대 노광기가 있었다. 이제 중국은 미국의 반도체 제재 하에서 일부분 자유로워 질 수 있고, 일본의 대중국 반도체장비 수출통제는 그 실효성이 급속히 약화될 것이다.

 
둘째, 28㎚ 노광기는 휴대폰의 어플리케이션프로세서(AP)나 컴퓨터의 고성능 중앙처리장치(CPU)등 저전력 성능이 필요한 몇몇 반도체와 메모리를 제외하고, 전체 반도체 수요의 90% 이상의 제조에 활용 가능한 기본 장비다. 올해 4월 중국은 국산장비만을 사용하는 12인치 65㎚ 공장 YDME(옌동마이크로, 688172) 베이징 공장을 가동하기 시작했는데, 이제 곧 국산장비만을 사용하는 12인치 28㎚ 공장이 가동될 것이라고 쉽게 예상할 수 있다.

셋째, 향후 10㎚ 이하 반도체를 제조하는데 필수적인 5세대 EUV 노광기 개발의 발판을 마련했다. 특히 지난해 말 화웨이가 EUV 노광기의 핵심 기술인 “반사경, 노광 장치 및 그 제어 방법”이라는 특허를 획득했다고 발표한 것을 주의할 필요가 있는데, 이는 중국 정부가 이미 EUV 노광기 개발을 광범위하게 시작했다는 추정을 가능하게 한다.

 
 

中, 4.5세대 노광기 국산화 의미[고영화의 차이나워치]

지난 1일 중국 증권일보에 상해마이크로전자(SMEE)가 28㎚(나노미터) 반도체 노광기 국산화 개발에 거의 성공했고, 연말에는 첫 제품을 고객에게 인도하게 될 것이라는 보도가 나왔다. 이는 미·중

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  1. News

Huawei to Use China Fab's 7nm Node to Overcome U.S. Sanctions: Report

 last updated July 13, 2023

Huawei expected to return to high-end smartphones business.

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 Comments (5)
(Image credit: Huawei)

Huawei Technologies, which is banned from using U.S.-originated technologies, is planning its return to flagship smartphone market by the end of the year, reports Reuters citing three research firms. The company will reportedly use Chinese fabs and technologies to produce advanced chips required for 5G handsets, although the details remain vague.

Reports from several research companies covering the Chinese smartphone market indicate that Huawei will likely be able to secure domestic 5G chips, thanks to its own developments in semiconductor design tools and chip manufacturing by the Semiconductor Manufacturing International Co. In particular, Huawei is rumored to make use of SMIC's N+1 manufacturing process, which belongs to 7nm-class production nodes, though it is likely that the high-tech giant will use a refined version of N+1.

Huawei's current flagship P60 Pro smartphone relies on Qualcomm's platform as well as the company's own Harmony OS operating system. Using SMIC's production node, the company could probably produce a cheaper handset for the mass market, increase sales of its smartphones, and gain experience with domestic technologies for 5G smartphones. The company has reportedly upped its smartphones sales projections for 2023 from 30 million to 40 million.

 

What remains to be seen is whether Huawei can produce a rival for the Qualcomm SM8475 Snapdragon 8+ Gen 1 platform using one of SMIC's nodes.

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Earlier this year Huawei announced that it had developed electronic design automation (EDA) software to design chips based on 14nm-class and thinner process technologies, which represented a significant advancement for the Chinese EDA industry. Huawei expected to complete testing on this software in 2023 and indicated plans to use its EDA software to design its proprietary HiSilicon chips.

While Huawei does not have its own fabs and cannot access leading-edge process technologies at TSMC, IFS, and Samsung Foundry, it has been collaborating with SMIC, Chinese foundry champion, over building a fab and developing fabs tools for a while. The two companies could refine SMIC's N+1 and other advanced nodes to make them suitable for Huawei's HiSilicon SoCs, but this is our speculation at this point.

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Anton Shilov is a Freelance News Writer at Tom’s Hardware US. Over the past couple of decades, he has covered everything from CPUs and GPUs to supercomputers and from modern process technologies and latest fab tools to high-tech industry trends.

 
 
 

중국이 반도체 전쟁에서 미국에 지지않은 이유

ㅇㅇㅈ(72.136) 2023.08.11 19:02:59
조회 320 추천 2 댓글 3
 

중국 반도체 장비 업체 SMEE 28나노 노광기 (lithography) 개발 국산화

 

이 DUV 노광기로 14나노까지 제작할 수 있다.

 

동시에 10나노 이하 미세공정 반도체 생산에 필요한 EUV 노광기도 개발중.

 

EUV의 가장 핵심인 광원은 이미 개발.

 

노광기는 미국도 자체 생산하지 못한다.

 

미국 인텔은 EUV없이 10나노 이하 도전하다가 TSMC, 삼성에 파운드리에 밀려버렸다.

 

DUV를 생산하는 나라는 네덜란드 (ASML)와 일본 (니콘, 캐논)뿐이고 EUV는 네덜란드 (ASML)만 생산.

 

中, 4.5세대 노광기 국산화 의미[고영화의 차이나워치]

https://www.edaily.co.kr/news/read?newsId=01157846635705024&mediaCodeNo=257

 

 

이러면 반도체 장비는 어느 정도 해결됐고

 

중국에 TSMC, 삼성같은 비메모리 위탁생산하는 파운드리가 없는가?

 

SMIC라는 회사 들어봣나?

 

미국의 제재로 반도체 구입을 못하는 중국의 화웨이가 중국의 파운드리 SMIC와 함께

 

7나노 칩을 생산해 다시 5G 휴대폰을 만들 것이라는 기사.

 

SMIC에는 엉망이었던 삼성 파운드리의 수율을 잡아준 반도체 업계의 기린아 양몽송이 있다.

 

이 사람이 EUV도 없이 DUV만 가지고 7나노 공정을 개발 성공.

 

Huawei to Use China Fab's 7nm Node to Overcome U.S. Sanctions: Report

화웨이, 미국 제재를 극복하기 위해 중국 팹의 7나노 공정 사용할 것

https://www.tomshardware.com/news/huawei-rumored-to-use-smics-nodes-overcome-us-ban-and-produce-5g-smartphones

 

 

 

 
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  • 중고노인(223.62)

    수입제한 없을때 못만들던 애들이라서 쉽지 않을듯

    08.11 19:06:29
    삭제
  • oo(106.248)

    좌파말을 믿는것은 정신병

    08.12 14:39:23
    삭제
  • ㅇㅇ(222.109)

    일단 제품 나와봐야암.

    08.12 14:41:05
    삭제
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